精實新聞 2013-04-09 09:20:02 記者 羅毓嘉 報導
電子束檢測設備大廠漢微科(3658)公佈3月營收為5.27億元，月減0.5%，年增率為12.1%，近期因各晶圓代工與半導體大廠積極佈局先進製程，提高對漢微科的檢測設備需求，漢微科今年Q1營收交出12.05億元成績，繼去年Q4之後再度刷新單季營收新高，營運動能十分強勁。
漢微科是晶圓缺陷檢測設備的領導廠商，在電子束(E-beam)檢測設備領域的市佔率高達85%，更以專利卡位跳躍式檢測(leap scan)技術，成為漢微科最佳利基。
隨著半導體先進製程不斷演進，對於晶圓缺陷(wafer defect)的檢測精準度愈發殷切，放眼全球半導體業界，凡擁有12吋晶圓生產線的半導體大廠，均已被漢微科納入客戶名單；而今年在包括台積電(2330)、Intel等大廠強化在先進製程的資本支出帶動之下，漢微科出貨海口大開，業績展望堅實。
值得注意的是，隨著漢微科的電子束檢測技術不斷提昇，市場也看好漢微科將具備揮軍掃描式電子顯微鏡(Scanning electron microscope, SEM)市場的實力。
由於SEM機台是材料分析最重要的應用工具，應用面可涵蓋電子材料、生技醫療、化學等領域，市場規模初估2倍於電子束晶圓檢測設備市場，也為漢微科跨出半導體設備市場、涉足下一波成長動能奠定了穩固基礎。
