精實新聞 2013-10-28 12:23:39 記者 王彤勻 報導
SEMI宣布，首個針對高科技廠房設施組成的委員會於10月誕生，這也是台灣第一個由產業界針對高科技廠房設施自發性設立的委員會。會中由出席的45間企業及學術機構、來自各界的委員會成員共同推舉出漢民科總經理暨漢微科(3658)董事長許金榮擔任委員會主席(見附圖前中)，台積電(2330)新廠工程處處長莊子壽、聯電(2303)廠務暨擴建工程處處長高慶揚、千附(8383)總經理賴志明擔任副主席。
SEMI指出，該高科技廠房設施委員會未來將整合國內外高科技廠房設施相關資源，厚植台灣高科技廠房設施產業的競爭力，並透過產學合作增進關鍵技術之發展，期能促進產業技術標準。而成立大會當天，共有來自晶圓代工廠、半導體製造設備供應商、半導體製造材料供應商、營建工程業及學術研究單位共45家、64位代表參與。其中，SEMI高科技廠房設施委員會設主席、副主席、秘書長，並分成製程技術小組委員會、廠房技術小組委員會，以及技術發展小組委員會。
SEMI指出，高科技廠房設施為製程中之關鍵技術之一，產業界以策略聯盟的方式合作，冀加速科技研發效能、提高生產力並且降低生產成本，並促進環保、節能及安全衛生，加速提升產業整體競爭力。除此之外，高科技廠房和實驗室等設施同樣為其他科技產業推進至新的層次之關鍵發展因素，其研發成果將移轉至其他業界。例如國際半導體及相關產業將於2016年完成10奈米及18吋(450mm)晶圓製程技術之測試，並預估大量生產將於2018年展開。而面板、太陽能、OLED、光電產業也都不斷在尋找創新技術的突破。廠房設施的高效能及穩定度，將成為這些新技術之研發、製造、永續經營之關鍵因素。
SEMI高科技廠房設施委員會主席、漢民科總經理許金榮表示，當先進製程走向1x奈米世代，技術挑戰越來越多，加上將用到更多新的設備、材料、化學品，如何提升製程良率並維護人身安全，在在都需要透過高科技廠房設施的配合。SEMI原就擁有全球半導體製造設備、材料供應商的豐富資源，加上台灣本地廠房設施廠商的相輔相成，將有助提升我國高科技廠房設施水準，並進一步帶動設備及材料本土化的發展。
SEMI高科技廠房設施委員會副主席、台積電新廠工程處處長莊子壽則表示，影響高科技廠房設施之關鍵因素包含電磁波干擾消除 (EMI)、自動物料搬運系統 (AMHS)、微振動 (Micro Vibration) 預防及消除、廠房設施資訊模擬 (FIM-Facility Information Modeling)、汙染物偵測鑑定及消除、4D智慧排程及模擬等等。面對先進製程污染分子化，對於廠房設施條件要求只會越來越嚴格。如何達到環保節能、如何對抗颱風或地震等天然災害，未來希望透過委員會的運作，邀集廠商討論出明確準則，以期協助臺灣高科技產業持續向上提升。
SEMI高科技廠房設施委員會副主席、聯電廠務暨擴建工程處處長高慶揚則表示，高科技廠房設施現在面臨許多的挑戰，很高興見到SEMI高科技廠房設施委員會的成立，透過這樣的平台，可以提供非常好的機會，讓廠商彼此更緊密地聯繫。
SEMI台灣區總裁曹世綸則說明，由於廠房設施的設計建造，是半導體晶圓製造不可或缺的先決條件之一，為了從廠房設施的角度，協助台灣半導體產業及相關產業提昇到18吋晶圓量產及10奈米製程，因此才促成這次SEMI高科技廠房設施委員會的成立。
