MoneyDJ新聞 2015-10-13 10:05:43 記者 新聞中心 報導
蔚華科(3055)於中國獨家代理的DCG Systems宣佈推出用於常規及高難度晶圓電性失效分析的Meridian M系統。
蔚華科指出，Meridian M系統提供電晶體缺陷和漏電的光子發射(EMISSION)分析技術，及一套針對導體缺陷的靜態鐳射激發技術，是支持記憶體生產和代工廠失效分析(FA)實驗室的一個至關重要的工具；其高靈敏度、寬波段的DBX光學技術能捕捉到最具挑戰性的缺陷，包括先進記憶體件中大面積制程不均勻導致的異常洩電；存儲記憶體單元中的字線-字線或位線-位線間高阻短路；低電壓GPU及邏輯電路中的電阻故障；以及需要長時間信號收集的微弱EMISSION；此外，還能捕捉到發射熱波段(大於1850nm)光子的電性故障，如局部開路、高阻短路和電遷移等。
DCG Systems的Meridian產品事業部經理Praveen Vedagarbha表示，靜態光學失效定位分析(OFI)正在興起，雖然動態光學失效分析對故障定位非常重要，但與之相比，靜態光學失效分析速度更快、使用更方便，因為它不需要與測試機結合，也不需要擁有編輯測試程式所必需的測試知識。Meridian M系統的速度和易用性在前期良率提升階段特別有價值，因為它能及時地向制程工藝團隊快速回饋故障資訊。
在各種靜態光學失效分析系統中，Meridian M系統已證明能捕捉最微弱的EMISSION來定位缺陷，藉由客制設計的光學元件、使用者自選的波長範圍，以及最低的背景雜訊使得Meridian M系統適合各種故障類型分析，包括從常見的「光」發射，諸如過度漏電、電晶體飽和和閉鎖故障，到波長更長的「熱」發射，如高阻短路和摻雜劑位移。由於Meridian M系統適用於封裝晶粒以及整片晶圓，因此能夠輕易從事良品和不良品的對比，有助於判讀複雜的EMISSION圖像。
