精實新聞 2013-09-04 18:28:41 記者 羅毓嘉 報導
半導體設備供應商辛耘(3583)卡位先進封裝設備商機，宣佈取得電漿蝕刻暨薄膜沉積設備大廠Plasma-Therm LLC在台灣與中國的設備代理權，辛耘指出，Plasma-Therm是全球電漿蝕刻和薄膜沉積設備的領導廠商，藉著代理該公司設備，辛耘的代理產品組合將可延伸至包括半導體先進封裝乃至先進光罩蝕刻設備等領域。
除宣佈取得新代理權消息，辛耘也在今年的台灣國際半導體展(SEMICON Taiwan 2013)期間，展出一系列自行研發製造的半導體濕製程設備暨12吋再生晶圓產品。
辛耘指出，Plasma-Therm LLC是一家總部設在美國的半導體設備生產商，成立於1974年，是全球電漿蝕刻和薄膜沉積設備的領導廠商，該公司產品應用領域涵蓋了半導體先進封裝、固態照明、薄膜磁頭、微機電(MEMS)與化合物半導體市場；Plasma-Therm LLC也生產先進光罩蝕刻設備，並在電漿加工技術方面擁有超過37個專利。
在此同時，Plasma-Therm在2011年取得瑞典真空和薄膜設備供應商Advanced Vacuum的多數股權，從而擴大在蝕刻和沉積系統的產品組合與市場占有率，更讓Plasma-Therm進一步取得控制系統領域的製造能力，更能發揮客製化設計和製造電漿蝕刻和薄膜沉積設備的能力。
辛耘表示，電漿加工屬於「乾式製程」，可用於薄膜的鍍膜(氣相沉積)、去膜(蝕刻、灰化、去光阻)、表面處理(改質、清潔)等，所有製程均不會造成環境污染、無需額外建置廢水處理系統，在先進封裝製程中深具發展潛力。
辛耘深耕專業半導體設備代理暨製造領域已達34年，早期以代理進口半導體產品為主要營業項目，隨著事業體擴張，目前旗下握有自製機台製造、晶圓再生服務與代理產品3大事業群，應用面涵蓋半導體、LED、太陽能及砷化鎵前段、後段製程設備。
今年前7月辛耘累計營收為16.61億元，年增39.2%；今年上半年，辛耘稅後盈餘為8438萬元，較去年同期僅1200萬餘元大幅成長，累計EPS為1.08元。
