MoneyDJ新聞 2026-06-02 12:17:08 新聞中心 發佈
綜合陸媒報導，中國北方華創(002371.SZ)正式發布全新12吋氣體團簇離子束(GCIB)蝕刻設備Acme Glaion130，該設備突破三大核心技術瓶頸，覆蓋先進邏輯、記憶體、封裝、矽光晶片及AR/VR應用場景。或受此消息激勵，北方華創股價今(2)日開低走揚，午盤暫收於611.3元人民幣、漲3.63%。
隨著積體電路製程向先進節點邁進，晶片特徵尺寸進入原子級，對加工精度、表面品質和損傷控制提出嚴苛要求，而傳統化學機械拋光(CMP)、電漿蝕刻存在劃痕、亞表面損傷、精度有限等短板，無法滿足先進邏輯、記憶體、矽光晶片等領域的核心需求；而離子束蝕刻憑藉原子級精度和近零損傷優勢，成為後摩爾時代半導體製造的關鍵製程裝備。
與傳統製程相比，團簇離子束蝕刻精度為奈米級，方向性更佳，可實現近零損傷加工；幾乎適配所有材料，製程靈活性更高，能完成晶圓局部定點精修、任意角度蝕刻等複雜需求。
Acme Glaion130 成功攻克業內三大技術難題，實現關鍵技術自主，包括氣體團簇離子源技術、高速運動下電極技術、動態精確控制演算法。Acme Glaion130並具備多場景相容能力，滿足高端晶片及前瞻領域蝕刻需求，包括先進邏輯/記憶體晶片領域、先進封裝領域、矽光晶片領域、AR/VR領域。
北方華創表示，Acme Glaion130實測性能優異，整面蝕刻膜厚控制精準，保持原子級光滑表面，綜合性能達到同類型設備領先水準。
