精實新聞 2012-05-03 09:35:25 記者 羅毓嘉 報導
電子束檢測設備廠漢微科(3658)總經理招允佳表示，當晶圓製程縮微至20奈米以下，製程前段的晶圓品質檢測將更加重要，而傳統的光學檢測因解析度限制，電子束檢測的優勢就會顯現出來。招允佳指出，晶圓廠推動往2X奈米、甚至1X奈米製程縮微不遺餘力，將帶動漢微科的電子束檢測設備需求爆發。
招允佳指出，智慧型手機等消費性電子產品的需求增長，讓IC體積必須更小、更省電、性能更高，半導體產業也致力於發展先進製程，晶圓廠客戶投注於製程縮微的資本支出，就構成了對漢微科晶圓檢測需求的根基。
招允佳說明，晶圓製程從65奈米世代一路縮微，到了28奈米、22奈米世代，晶圓精密度更高，只要有少許缺陷(defect)就會造成晶圓廠良率下降，前段的晶圓缺陷檢測就更形重要，然而傳統的光學檢測(AOI)已經無法有效偵測晶圓內的缺陷，電子束檢測就成為製程縮微過程中的重要檢測解決方案。
在過去，晶圓光學檢測的領導廠商是美商科磊(KLA-Tencor)，漢微科則後來居上，靠著自主的檢測技術與模組開發能力，一躍而為電子束檢測設備的領先者，在電子束檢測市場有85%以上的市佔率，已打入包括台積電(2330)、聯電(2303)、Samsung、Hynix、TOSHIBA等半導體大廠的設備供應鏈。
招允佳指出，以目前晶圓廠製程世代而言，全球檢測設備業若出貨10台晶圓檢測設備，其中可能只有1台是電子束檢測設備，其餘則是光學檢測；惟截至目前為止，光學檢測尚未能突破解析度限制，在高階製程難以與電子束檢測競爭，隨著晶圓廠強化28奈米以下製程佈局，電子束檢測佔晶圓檢測設備總出貨比重將持續攀升，未來10台晶圓檢測設備中，可能就會有3台是電子束機台。
漢微科去年合併營收年增73.3%至26.78億元，獲利更成長160%至6.54億元，營收與獲利同步創下新高紀錄，全年EPS為10.87元；而今年Q1繳出營收9.14億元、稅後純益2.74億元，EPS 4.57元的成績單。公司內部預期，Q2營運狀況持平Q1，下半年更將有機會優於上半年。
漢微科將於5月21日以承銷價200元掛牌上櫃，並將於今(3)日午後舉行上櫃前的法人說明會。
