精實新聞 2012-12-14 09:27:41 記者 羅毓嘉 報導
電子束檢測設備廠漢微科(3658)看好半導體製程縮微形勢確立、電子束檢測機台需求有增無減，昨(13)經董事會通過將在南科興建新廠房，擴增生產能量。漢微科擴產工作將從2013年開始、並在2014年完工投產，屆時包括台積電(2330)、Intel等半導體廠均將切入1X奈米世代製程，料將繼續為漢微科的電子束檢測設備打開廣大出海口。
漢微科的生產基地為位於南科的一號廠，該廠年產能約30台設備，目前雖還能滿足客戶需求，不過公司預期2013年後，隨著越來越多的半導體客戶推動製程縮微，產能將顯得有些吃緊，因此順勢決議推動擴產。
漢微科並未公佈該筆建廠計畫的預計投入金額，不過公司方面表示，新廠建設的資金需求，將以自有資金與銀行借款來支應。
近年來，半導體產業為了因應越來越精密的晶片規格，製程縮微早已如火如荼展開，而電子束檢測設備對2X奈米以下製程的晶圓缺陷(wafer defect)偵錯能力優於傳統的光學式檢測，帶動漢微科強勁的訂單需求，包括台積電、聯電(2303)、三星(Samsung)、海力士(SK Hynix)、東芝(TOSHIBA)、美光(Micron)等半導體廠都是漢微科的客戶。
近期市場不斷傳出，漢微科已成功敲入美系IDM廠Intel的設備供應鏈，將從2013年正式開始出貨，選在此刻發佈擴產計畫，更引發市場遐想。惟漢微科表示，無法對單一客戶做出評論，推動擴產是要滿足半導體產業的需求，尤其2013年起預估原產能將有點吃緊，才先行規劃擴廠，對於未來的電子束檢測設備看法相當樂觀。
值得注意的是，漢微科大客戶台積電在先進製程的投資十分積極，從現有的28奈米、到未來的20與16奈米，技術藍圖擘劃更是相當明確。法人指出，台積電20奈米製程可望在2013年下半年投入量產，16奈米的FinFET則將在2014年量產，對電子束檢測機台的需求更水漲船高；而Intel與三星在製程縮微投資的齊頭並進，亦將對漢微科業績展望構成堅實的支撐。
漢微科今年前11月累計營收為36.74億元，年增57.1%，全年營收將突破40億元的歷史新高；漢微科前3季稅後盈餘10.28億元，較去年同期成長110%，累計EPS為16.33元。
