MoneyDJ新聞 2026-06-29 09:00:38 邱建齊 發佈
甲級事業廢棄物處理大廠台鎔科技(6947)深耕半導體製程廢溶劑回收領域,總經理張德鈞(圖左一)表示,台灣26座城市焚化爐主要都是把蒸氣做為廢轉能發電使用,但一般中小型焚化處理廠大部分都是冷卻後把煙氣導入汙染防治設備並在符合標準後排放,這在能源上是很大浪費。廢溶劑蒸餾系統營運成本大約70%都來自燃料,相較燒瓦斯或燒油產生蒸汽蒸餾廢溶劑,台鎔科技是結合焚化處理系統與物理蒸餾的工廠,所以在成本競爭力上面就有非常大的優勢。
張德鈞表示,台鎔科技一開始設定就是跟半導體業合作,雖然沒有強調是供應鏈,但仍繼續默默扮演靜脈產業角色,經過將近十年運轉,公司實驗室擁有數萬筆廢溶劑資料用以維持高運轉,了解廢溶劑所有物性與化性讓公司可以精準配料、爐子可以穩定運轉,這是台鎔科技在技術上擁有的核心價值。
因為一開始就是跟半導體業合作,張德鈞指出,所有台灣半導體廠的廢溶劑都處理過,客戶也相信台鎔科技,由於廢液所含成分牽扯到特化廠跟半導體廠的know-how而不可能詳細告知,但經過實驗室分析,公司均可充分掌握包括熱質、硫、氯、灰分及其他主要成分,這就是台鎔科技在競爭上的優勢、也是技術核心。
也因獲得客戶信任,張德鈞指出,當有先進製程、先進封裝的新製程,客戶會先拿樣品到台鎔科技分析後,再看值不值得回收再生或是進入焚化系統,即使是要進入焚化系統也可以做最有效的處理,這是公司目前在業界所具有的優勢。
由於半導體廠會產生很多液態廢棄物,在5個循環製程中,張德鈞指出,產生最多廢液是在黃光微影跟蝕刻部分,因為需要溶劑清洗及酸鹼蝕刻,主要廢溶劑種類是清洗製程及乾燥製程使用的IPA(異丙醇),另外就是在黃光微影製程清洗晶邊的清洗劑EBR(光阻洗邊劑)。