精實新聞 2012-05-02 18:49:30 記者 羅毓嘉 報導
電子檢測設備廠漢微科(3658)將在5月21日掛牌上櫃，為量測儀器族群再添新兵，承銷價則訂為200元。漢微科董事長許金榮表示，隨著晶圓廠製程演進，對於高精度的電子束(E-beam)檢測需求看增，只要晶圓廠客戶持續投注資本支出，漢微科的機台出貨數就有成長空間可期。
許金榮指出，台灣推動半導體產業已有逾30年時間，不過在前端晶圓設備投注的比重相對較少。漢微科專注在跳躍式掃描系統、連續式掃描系統和電子束製程監控系統設備技術，其電子束檢測設備目前全球市佔率高達85%，遙遙領先競爭對手科磊(KLA-Tencor)，並以專利架構出競爭者的進入門檻。
漢微科掌握高端電子束檢測的軟硬體技術，是少數能以自有品牌推出掃描系統、電子束製程監控機台設備的廠商，因傳統光學檢測(AOI)有其解析度限制，晶圓廠製程往縮微趨勢演進，對更高精密度的電子束檢測需求就會成長，構成漢微科營運利基。
許金榮指出，過去因為傳統光學檢測已可支應晶圓量產的缺陷檢測需求，漢微科設備主要供應給晶圓廠作為研發端的缺陷檢測之用，不過隨著晶圓製程不斷從65奈米、40奈米往下縮微，在20奈米甚至15奈米世代，晶圓只要稍有缺陷，就會造成良率缺口，晶圓廠在量產線上亟需建構電子束檢測系統，此一需求將帶動漢微科營運持續看增。
漢微科今年Q1繳出營收9.14億元、稅後純益2.74億元，EPS 4.57元的成績單，而今年包括台積電(2330)、聯電(2303)皆致力於擴增高階製程產能，也讓漢微科後續營運表現升溫。漢微科訂於明(3)日舉行上櫃前法人說明會，屆時管理階層亦將對後市展望提具進一步的說明。
