精實新聞 2013-06-06 19:00:48 記者 羅毓嘉 報導
電子束檢測設備大廠漢微科(3658)公佈5月營收為4.36億元，月減5%、較去年同期則增長47%；由於今年以來漢微科持續出貨給包括台積電(2330)在內的半導體大廠，營運根基穩固，累計今年前5月，漢微科營收為20.97億元，較去年同期成長了24%，漢微科董事長許金榮也看好今年營收將優於去年、再創歷史新高。
漢微科是晶圓缺陷檢測設備的領導廠商，在電子束(E-beam)檢測設備領域的市佔率高達85%，受惠於半導體先進製程不斷演進，對於晶圓缺陷(wafer defect)的檢測精準度愈發殷切，放眼全球半導體業界，凡擁有12吋晶圓生產線的半導體大廠，均已被漢微科納入客戶名單。
漢微科董事長許金榮指出，今年漢微科客戶群進到28奈米量產階段，可謂「氣勢如虹」，漢微科的電子束檢測設備協助客戶研發、量產，「只要他們好我們就好」，根據今年客戶端看法，許金榮認為漢微科今年營運「不比去年差」；由於漢微科去年營收已創新高，也意味著許金榮看好漢微科今年營收可望再度創高的正面看法。
漢微科目前位於南科的生產基地已不敷訂單使用，遂決議興建新廠房，今年6月28日將動土，預估1年後可完工投產，屆時漢微科的年產能將由50台擴增到150台，足以支應未來2-3年的成長空間所需；許金榮指出，漢微科將為新廠召募人力，募集更多機台測試、設計的高階系統人力，待遇也將在「業界平均以上」。
