MoneyDJ新聞 2017-11-29 13:13:18 記者 陳苓 報導
先前傳出三星電子耍手段拓展晶圓代工市場，打算買斷EUV(極紫外光)設備，讓台積電(2330)買不到。不過韓國方面的新消息說，三星大買EUV，不只用於晶圓代工，也會用於記憶體，計畫搶先同業，2019年初量產10奈米DRAM。
韓媒BusinessKorea 29日報導(見此)，業界人士表示，三星考慮在南韓華城廠增建EUV設備專用的DRAM產線，最快下個月動工，預定2019年啟用，將利用初期10奈米技術生產DRAM，開業界先河。
目前業者多採用ArF浸潤式製程生產DRAM，縮小線寬有其極限，DRAM製程很難微縮至10奈米。EUV有望解決此一問題，實現DRAM的10奈米製程。熟悉三星電子情況的觀察家說，EUV多用於7奈米晶圓代工，不過有些可以拿來生產DRAM。問題是10奈米晶圓的生產速度較慢，三星能否獲利仍是未知數。預料三星將裝設4~8台EUV設備。
專家預測，儘管EUV有缺點，三星仍會考慮用EUV生產10奈米DRAM，藉此拉開和對手差距，維持市場霸主地位。今年第三季，三星在行動裝置和伺服器DRAM的市佔，分別增至58.3%、45.9%。
Nikkei Asian Review、BusinessKorea 5月報導，三星是DRAM龍頭，製程領先對手1~2年，2016年下半首先量產18奈米DRAM，計畫今年下半推進至15奈米。
三星一馬當先，DRAM第三大廠美光拼命追趕，計畫未來兩三年砸下20億美元，研發13奈米DRAM製程。美光在日本廣島廠增設無塵室設備，並購買了多項高價生產儀器。進入13奈米製程之後，同一片晶圓能分割成更多晶片，生產力將提高20%。美光已於今年第一季量產18奈米DRAM。
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