MoneyDJ新聞 2026-06-25 12:55:04 數位內容中心 發佈
ASML Holding宣布，6月24日將與荷蘭應用科學研究組織TNO合作，推動光子積體電路產業化。全球半導體微影設備龍頭ASML Holding（ASML.US）表示，合作將圍繞TNO在Eindhoven High Tech Campus建置的光子晶片試產線展開。
依照合作安排，ASML Holding將分階段提供DUV與I-line微影設備，並投入製程支援。其核心產品原涵蓋深紫外光與極紫外光設備，這次設備與製程導入範圍則延伸至光子晶片相關應用。
此次合作涉及試產線建置與製程協作，ASML Holding在光子積體電路領域的角色除了設備供應，也包含製程導入。光子積體電路應用方向涵蓋高速傳輸、感測與人工智慧基礎設施。
ASML Holding這次提供的DUV與I-line設備屬於成熟微影技術，可用於試產線與早期量產導入。隨著光子晶片試產線推進，相關設備與製程將納入光子晶片製造流程。
