康寧推出用於改進晶圓光罩的EXTREME ULE Glass材料，可承受包括High NA EUA等高強度極紫外光製程
2024/10/01 16:15
雖然康寧對一般消費者多因為其玻璃餐具與智慧手機的螢幕玻璃基板而認識，不過康寧也將其玻璃技術應用在最先進的半導體領域，其中也包括用於光罩的玻璃材料；康寧宣布針對新一代晶片製程推出Corning EXTREME ULE Glass材料，能協助晶圓製造商改進光罩，強調足以承受包括High NA EUA(高數值孔徑)等高強度極紫外光黃光製程，並滿足EUV黃光製程對於玻璃材料熱穩定與均質的要求。 ▲EXTR
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