High NA EUV三強競賽 英特爾奪先機
2026/09/09 07:41
AI帶動先進邏輯與記憶體製程同步微縮，High NA EUV競賽全面升溫。英特爾晶圓代工（Intel Foundry）8日宣布，High NA EUV已導入高量產製造，包括Intel 18A及Panther Lake部分特定製程層，相關製程累計超過100萬片晶圓；三星電子亦宣布擴大與ASML合作，計畫2028年率先將High NA EUV導入DRAM高量產製造。加上台積電持續布局High NA，三
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