MoneyDJ新聞 2026-09-02 12:14:35 鄭盈芷 發佈
大銀微系統(4576)執行副總游凱勝(圖)表示，矽光子檢測設備Q2開始小量出貨，當時客戶下單規模在個位數台數，到現在就已經追加兩次，下單規模達數百台，8月新增的營收主要來自矽光子檢測設備與接獲美國Tier 1半導體設備廠後段檢測完整解決方案訂單，是個重要的里程碑，目前矽光子檢測設備能見度已經到明年Q2，而整體訂單的平均能見度則約半年。
大銀微系統可提供矽光子四大測試解決方案，主力的矽光子檢測設備客戶則為目前市面上的領導大廠，今年Q2起晶圓級測試方案已經開始出貨，Q3規模也明顯放大，訂單已經看到明年Q2。
大銀微系統表示，相較於市面上的解決方案，大銀可提供微型線性馬達，體積特別緊湊，佔地面積更小。
上銀集團此次聚焦晶圓定位、奈米級檢測、矽光子應用、薄膜製程與先進封裝自動化，推出四大關鍵技術成果：克服4mm晶圓翹曲、實現±1nm 伺服穩定技術達100%檢出率、矽光子耦合損耗<0.5 dB、50,000小時 MTBF量產可靠度。
大銀表示，因應製程由圓轉方的新世代演進，310 x 310 mm 尺寸持續朝515 x 510 mm發展，MD-ZT多維度定位平台，具備5個自由度的精準定位功能，可在晶圓檢測過程即時補正晶圓的姿態變化，有效克服鏡頭對焦問題，提高量測/檢測效率到90%。
大銀最新推出的1-Nano驅控器(1-Nano Controller)可實現±1 nm 的伺服穩定度技術，搭配高倍率顯微鏡的放大取像，影像清晰穩定，檢出率到 100%，成為高階量測與檢測設備的核心。游凱勝表示，未來會更積極將1-Nano驅控器整合到現有方案中。
上銀集團憑藉高度技術自主性優勢，提供客戶完整機電整合解決通案， 透過與客戶深度協作，縮短專案研發週期，加速生產設備疊代演進，以因應前端市場的多樣化需求。
(圖片來源:記者攝)
