AI晶片推升電晶體密度與製程複雜度，台積電與艾司摩爾（ASML）共同啟動High NA EUV生態系升級，將現行6吋EUV光罩推進至12吋。台積電並首度明確表示，有意自2030年起將ASML的High NA技術導入先進製程量產，為埃米世代製程微縮預作準備。
