意法半導體法國最大生產基地Crolles廠推動節水計畫

2023/04/12 11:06

意法半導體在法國最大生產基地Crolles廠推動節水計畫

依據法媒新工廠(UsineNouvelle)4月最新出版之月刊報導,法義合資之意法半導體(STMicroelectronics)位於法國東南部Crolles廠,消耗水量相當於一座10萬人口之城市,由於法國刻面臨乾旱之威脅,該廠盼從三方面進行改善包括:(一)提升生產過程的用水效率、(二)強化水資源回收利用及(三)推動水源供應多元化,以有效節約用水。

半導體生產不僅高耗能亦相當耗水,其中用水最多的製程為晶圓沖洗、生產設備冷卻、無塵室內恆溫與濕度控管以及廢水處理站管理等。在長達一季至半年之生產週期當中,須對晶圓反覆進行徹底清洗,製程所需之超純水來自公共供水系統再經現場處理,冷卻系統與廢水處理站之水質要求則相對較低。上(2022)年意法半導體Crolles廠耗用420萬立方公尺水量,佔當地水公司(Eaux de Grenoble Alpes)總量13%以上。

法媒指出,該廠之冷卻設備用水多蒸發至大氣中,清洗晶圓之廢水自2000年以來,經廢水處理站淨化處理後,主要回收再利用於冷卻系統,其餘排入伊澤爾河(Isere)。意法半導體表示,公司不僅將持續改善製程之用水效率,亦將大幅提升回收率。舉例來說,最新設備耗水量較20年前之舊機型減少6倍,受惠於製程優化,2016年至2022年間生產晶片之用水量已大幅減少41%,經統計2022年廢水回收率達43%,並已設立2025年回收率50%之目標。該公司工程師兼工會代表Aymeric Mougeot建議,應師法南韓三星與以色列Tower,提高可回收率,理論上廢水回收率最高可達90%,10%為蒸發損失,然而需大量投資始得實現該遠大目標。

法媒亦表示,意法半導體Crolles廠近年用水量雖已趨穩定,但隨該集團與美商格羅方德(GlobalFoundries)合作擴建新廠,2024年至2026年間用水量勢必再度攀升,為此該集團刻布署新的水處理設施,預計將耗資數千萬歐元,並於2024年啟用。另一方面,水源多元化亦為推動重點,例如意法半導體已獲准能在廠區內鑿井取地下水,預計2024年起可供水。工會代表Aymeric Mougeot則呼籲意法半導體可與週邊廠商如半導體材料商Soitec共享供水與水處理設施,將能提升投資效益且對環境保護有所益處。

針對意法半導體及Soitec因密集用水引發相關示威抗議情事,前者表示該集團對於法國及歐洲建立產業自主權扮演戰略要角,尤其Crolles廠區對於歐洲實現2030年次世代晶片市占率由10%翻升為20%之目標最為關鍵,重申其對水資源議題之重視,並表示業成立節水委員會,將監督並協助法國各廠區落實節約用水。(資料來源:經濟部國貿局)

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