MoneyDJ新聞 2019-01-02 12:05:32 記者 陳苓 報導
美國對中國記憶體廠商福建晉華發布禁售令，重創北京的半導體美夢，中國當局或許打算另闢蹊徑，強化半導體產業。近來南韓記憶體大廠SK海力士(SK Hynix)，在中國無錫廠引進了DUV(deep ultraviolet、深紫外光)光刻設備。韓媒揣測，中國對南韓記憶體業者啟動反壟斷調查，韓廠或許被迫引進高科技設備討好北京當局，以免慘遭修理。
韓媒BusinessKorea 2日報導，上個月SK海力士在中國無錫廠舉行DUV設備的導入典禮，將用來生產DRAM。新設備是荷蘭半導體微影設備商艾司摩爾(ASML)的「NXT2000i」，一台要價數千萬到數億美元之間，這是ASML NXT2000i首次引進中國。ASML不向中國販售最新設備。
DUV沒有EUV(極紫外光)先進，但是ASML說，裝設在無錫廠的NXT2000i是最新機型，能把曝光過程的錯誤減到最低，並且能和最先進的EUV設備NXE3400B共同使用、創造綜效。外界猜測，SK海力士未來也許有意在無錫廠導入EUV設備。不過SK海力士高層表示，目前EUV設備主要用於生產系統半導體，在無錫廠採用EUV生產記憶體還言之過早。
有些分析師指出，SK海力士在中國引入高科技設備，與中國當局的反壟斷調查有關。去年底，北京放話說，三星電子、SK海力士、美光的反壟斷調查，出現實質進展，最多可能處以80億美元的罰款。不只SK海力士害怕遭課天價罰金，三星也緊張。分析師說，三星電子關閉了天津的智慧機工廠，但是為了和中國政府維持良好關係，三星集團的Samsung SDI和三星電機(Samsung Electro-Mechanics)都加強對中國投資。
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