MoneyDJ新聞 2018-02-06 08:51:32 記者 蔡承啟 報導
旭硝子(AGC)5日發布新聞稿宣布，將大幅增產極紫外光微影(EUV lithography)用空白光罩(Mask Blanks)，旗下集團公司AGC Electronics將自今年起大幅擴大EUV用空白光罩供應體制。
旭硝子表示，因半導體晶片為實現高速化、大容量化而持續進行細微化腳步，不過因現行ArF等光微影技術無法因應被稱為「7nm世代」的細微化要求，因此看好可實現「7nm」要求的EUV將成為今後的主流、市場將擴大，因此決議擴大EUV用空白光罩供應體制。
旭硝子於2003年就開始從事EUV微影技術用空白光罩的研發，是當前全球唯一一家能一條龍式生產「玻璃材料」到「膜材料」的EUV空白光罩廠商。
旭硝子未說明上述增產計畫的具體投資額、產量目標。據日經新聞報導，旭硝子計畫於2020年結束前將EUV空白光罩營收大幅擴增至現行的8倍。
根據嘉實XQ全球贏家系統報價，截至台北時間6日上午8點21分為止，旭硝子崩跌4.19%至4,460日圓，稍早最低跌至4,430日圓、創2017年10月31日以來新低水準。
