精實新聞 2012-05-03 16:10:59 記者 羅毓嘉 報導
束檢測設備廠漢微科(3658)今舉行上櫃前法人說明會，總經理招允佳指出，漢微科在電子束檢測設備的開發策略上，針對下一個晶圓製程世代領先開發，確保在新製程世代開始之前，漢微科已可供應半導體廠相應的檢測設備。招允佳強調，未來數年之內，漢微科的產品藍圖相當明確，足以支撐漢微科的長期成長。
漢微科成立於2003年，主要產品是電子束(E-Beam)檢測設備，看準晶圓製程縮微趨勢方興未艾，傳統的光學(可見光與不可見光)檢測設備將不敷製程持續縮微化的晶圓場所需，因此從成立以來即鎖定電子束檢測技術持續開發。
招允佳表示，隨著半導體設計越發精密，製造難度也提高，半導體廠對於晶圓製程程序控制設備的需求也隨之提高，從90奈米開始，到65奈米、40奈米，以及目前的32奈米與28奈米，漢微科在客戶製程開發與量產的過程當中，給予其品質、良率的最佳後盾。未來漢微科也將繼續往20奈米的製程設備推進，讓電子束檢測設備在晶圓廠的設備供應中持續扮演支援要角。
招允佳指出，漢微科有4成人力放在研發部門，就是要確保漢微科的設備技術要一直走在晶圓廠的量產製程前面。舉例而言，在2006年晶圓廠展開40奈米製程研發時，漢微科已進展到15奈米的研發，而當今晶圓廠投入14奈米製程開發，漢微科更已開始鑽研10奈米以下、甚至5奈米的檢測設備佈局。
值得注意的是，過去電子束檢測設備主要是供應給晶圓廠的研發部門，作為先進製程世代的研發工具，不過隨著晶圓廠推動往2X奈米、甚至1X奈米製程縮微，只要有少許缺陷(defect)就會造成晶圓廠良率下降，前段的晶圓缺陷檢測更形重要，晶圓量產線上，也已浮現對於電子束檢測設備的需求。
為了建立競爭對手的進入門檻，招允佳表示，漢微科掌握關鍵技術的智慧財產權，包括在專利與商標上的佈局，目前在電子束檢測設備有85%的市佔率，未來還可望透過卡位各大半導體廠客戶，讓市佔率獲得持續提昇。
漢微科去年合併營收年增73.3%至26.78億元，獲利更成長160%至6.54億元，營收與獲利同步創下新高紀錄，全年EPS為10.87元；而今年Q1繳出營收9.14億元、稅後純益2.74億元，EPS 4.57元的成績單。公司內部預期，Q2營運狀況持平Q1，下半年更將有機會優於上半年。
目前漢微科年產能約達30台機台，今年下半年南科廠將進行擴產，預計明年產能開出，全年最大產能可達50台。公司也持續開發新的檢測設備機台，由於目前電子束檢測速度較慢，公司也在進行矩陣式電子束檢測設備的研究開發，該型設備檢測速度會是目前的倍數以上，預計2014年可以量產。
