精實新聞 2014-05-13 12:32:32 記者 萬惠雯 報導
電子驗證測試廠宜特(3289)表示,企業為了打造效能更高、功耗更低、體積更小的半導體元件以滿足現今智能產品之需求,各大廠在先進製程開發的腳步越來越快,此時可達原子級解析度的TEM(穿透式電子顯微鏡)將是分析上的唯一解決方案,宜特也正式導入高階TEM設備,提供客戶高端材料分析服務。
宜特表示,除了導入TEM設備外,宜特也與成大微奈米中心進行材料分析技術開發合作,同時聘請國內頂尖TEM權威鮑忠興博士擔任顧問,設備與技術能量一次到位。
另外,宜特也正式採全天候三班制24小時運作,全面縮短交期,產能也大增。
宜特表示,先進製程開發的腳步越來越快,包括Intel率先進入22奈米製程量產、台積電(2330)與三星陸續進入20奈米量產,而聯電(2303)則從28奈米跳過20奈米,直接研發14奈米製程,而先進半導體製程的開發是否到位,材料之結構與元素分析能力往往是關鍵,尤其當製程進入28奈米以下世代,許多傳統分析儀器將面臨瓶頸,TEM則是解決方案。
除了在半導體產業的應用外,材料分析在LED產業也扮演重要角色,決定LED發光特性最關鍵的磊晶製程,就必須高度仰賴TEM來控制製程參數。
宜特表示,目前宜特TEM已陸續完成對包括知名晶圓廠與LED磊晶廠的分析試樣,並突破至14奈米製程。