英特爾High-NA EUV搶先量產 攜ASML推進大尺寸光罩
2026/09/08 17:10
AI晶片製程微縮競賽升溫，High-NA EUV加速由研發走向量產。英特爾晶圓代工（Intel Foundry）與艾司摩爾（ASML）8日宣布，High-NA EUV已導入英特爾高量產製造（HVM），並應用於代號Panther Lake的Intel Core Ultra Series 3處理器部分特定層，相關製程累計已製造超過100萬片晶圓；英特爾並攜手ASML推動光罩由現行6吋朝6×12吋大尺寸
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