精實新聞 2013-09-03 18:51:56 記者 羅毓嘉 報導
電子束檢測設備大廠漢微科(3658)近日面對美商科磊(KLA-Tencor)的挑戰，董事長許金榮(見附圖)自信指出，就電子束檢測效能而言，半導體廠仍偏好採用漢微科的機台，且漢微科Q4將推出結合蛙跳式與連續式掃描2大優勢的新機台eScan500，更提昇電子束機台的產出率(throughput)，其檢測速率大幅提昇，機台競爭力亦隨之水漲船高。
美商科磊在光學式檢測(optical inspection)設備市場稱霸多年，卻在電子束(e-beam)檢測設備領域大吃漢微科悶虧，日前科磊隔空喊話，直指電子束與光學檢測的互補組合，才是晶圓製程控制(process control)的最佳解決方案，力圖自漢微科手中搶回市佔率的態度十分鮮明。
對此漢微科董事長許金榮今回應，先進製程益發縮微，電子束檢測已成必需品，尤其光學檢測的解析度極限無法突破，「檢測速度再快，看不到也沒有用；」同時，客戶可彈性採用不同供應商的光學與電子束檢測設備，以漢微科機台的高檢測效能來看，許金榮直指，就電子束檢測設備而言「客戶還是比較喜歡用漢微科的設備。」
針對電子束檢測設備較被詬病的檢測速率，許金榮也強調，漢微科不僅已推出多槍式(multi-gun)的電子束機台，最新版本的系統eScan500更將在Q4面世，該款系統結合跳蛙式(leap scan)與連續式(continuous scan)兩種檢測方式之長，可一舉提升檢測的整體效能，機台競爭力進一步提昇。
儘管近日市場上不時傳出漢微科大客戶台積電(2330)的短線營運雜音，許金榮則表示，漢微科在研發段、量產段都與客戶緊密合作，卡位先進製程先機，不認為台積電Q4展望變化對漢微科有衝擊，並以一句「漢微科不受景氣影響。」道破半導體設備商只要技術佈局正確，就能在市場上展現不可替代性，更可有效規避景氣擾動的價值。
漢微科今年前7月營收為29.61億元，年增25.4%；累計今年上半年，漢微科稅後盈餘為10.87億元，年增59.8%，EPS為16.47元。
