傳陸開始生產自研DUV曝光機,預計今年生產5台

2026/07/29 10:44

MoneyDJ新聞 2026-07-29 10:44:12 新聞中心 發佈

綜合港媒引用路透社報導,據消息人士表示,中國已開始大規模生產自主研發的浸沒式深紫外光(DUV)曝光機,該DUV曝光機由中國國有企業上海愛晟納電子技術集團主導進行生產。這項技術對先進晶片製造至關重要,標誌着中國在減少對外國技術的依賴方面邁出了關鍵一步。

DUV是晶片製造的關鍵工具,長期以來一直由荷蘭供應商ASML主導。《The Information》週一(27日)率先報導中國開始生產這種曝光機,但相關消息人士未透露設備製造商身份,並指今(2026)年預計生產約5台,明(2027)年產量預計增至約20台,並稱預計今年交付予包括中芯國際(0981.HK;688981.SH)、華虹(1347.HK;688347.SH)及長鑫存儲在內的主要晶片廠商。

路透社則引述消息人士指出,愛晟納的DUV曝光機預計還需要進一步測試,並且與ASML的競爭機型相比仍有很大差距。報導認為,此一進展是中國推動全國半導體自給自足戰略取得的一項成果,但不會立即對ASML構成商業威脅。

據了解,愛晟納成立於2023年8月,註冊資本70億元人民幣,僅有兩家國有股東,包括上海電氣控股有限公司和上海國際信託有限公司的子公司。消息人士指出,該公司整合了光刻初創公司宇量昇和上海微電子裝備(集團)股份有限公司的團隊;兩家公司均深度參與了中國官方半導體自給自足計劃。宇量昇是華為支持的設備製造商新凱來(SiCarrier)的關聯公司。公司及招聘記錄顯示,愛晟納和宇量昇在上海共用一個地址。

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