MoneyDJ新聞 2026-09-02 10:24:54 王怡茹 發佈
半導體製程持續微縮，無塵室微污染監測要求同步提升，創控科技(6909)此次參與SEMICON Taiwan 2026，將展出AI預警解決方案，以及AMC（氣態分子污染物）／VOC監測設備，整合現地分析與AI預警能力，協助晶圓廠在污染擴散前掌握異常，提升廠務系統穩定性。
創控為台灣首家自主研發及生產精密分析化學儀器的製造商，並已打入晶圓代工龍頭先進製程供應鏈。目前公司營收以半導體應用為主，占比達9成，設備主要用於無塵室、濾網效率及製程溢散等揮發性有機氣體微污染監測，協助客戶提升先進製程良率，其餘營收則來自環境空氣監測。
產品方面，創控此次展出涵蓋線上型、可攜式分析設備及系統整合方案，其中FMS2000鎖定晶圓傳載盒（FOUP）微環境監測；MiTAP S500、S600系列用於揮發性有機氣體（VOCs）分析，MiTAP M3則對應即時酸鹼氣體檢測需求。
系統端方面，Manifold System多點採樣系統可進行24小時在線連續監測，單一系統最高支援64個採樣通道，並可依客戶需求整合多台分析儀；另推出AMC／VOC行動監測推車，鎖定廠內機動巡檢、異常排除，以及污染與洩漏熱點定位等需求。
創控表示，透過高靈敏度分析設備結合AI預警方案，可讓第一線工程師即時掌握微污染變化，並在污染擴散前進行異常排除。隨先進製程對AMC管理及無塵室環境要求持續提高，公司也將持續深化現地分析與智慧監測布局。
(圖：創控經營團隊)
