MoneyDJ新聞 2018-11-29 11:42:13 記者 蔡承啟 報導
AGC(舊稱旭硝子)28日發布新聞稿宣布，將大幅增產極紫外光微影(EUV lithography)用光罩基板(Photomask Blanks、見附圖)，旗下集團公司AGC Electronics將大幅擴大EUV用光罩基板供應體制，目標在2020年將產能擴增至現行的約3倍。
旭硝子表示，因半導體晶片為實現高速化、大容量化而持續進行細微化腳步，不過因現行ArF等光微影技術無法因應被稱為「7nm世代」的細微化要求，因此看好可實現「7nm」要求的EUV將成為今後的主流、市場將擴大，因此決議擴大EUV用光罩基板供應體制。
旭硝子於2003年就開始從事EUV微影技術用光罩基板的研發，是當前全球唯一一家能一條龍式生產「玻璃材料」到「膜材料」的EUV光罩基板廠商。
根據Yahoo Finance的資料顯示，截至台北時間29日上午11點40分為止，AGC上揚0.79%至3,835日圓。
旭硝子光罩基板事業的競爭對手有信越化學(Shin-Etsu Chemical)、Hoya。
信越化學10月11日宣布，因半導體元件產量增加以及進行細微化，提振作為光罩材料的光罩基板全球需求不論是汎用ArF品或是先端ArF品皆呈現增長，因此決議對光罩基板事業進行積極投資，將砸下約140億日圓把光罩基板產能較現行擴增3成。
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