MoneyDJ新聞 2015-05-26 12:16:03 記者 新聞中心 報導
半導體設備零組件廠瑞耘(6532)表示，靜電吸盤為瑞耘深耕多年的主要研發產品，為半導體電漿製程設備的主流晶圓承載器，堪稱為製程中最關鍵的零組件，目前瑞耘已成為全球極少數能一條龍接力完成靜電吸盤製造及測試的供應商，相較於競爭對手，具有快速打樣、交貨與成本的競爭優勢。
瑞耘表示，靜電吸盤因應用在電漿製程中，其性質屬於製程耗材，依設備製程之不同及稼動率高低而有不同的使用壽命，近年來由於電漿製程延伸於面板、先進封裝、MEMS等領域，相對的靜電吸盤應用也向下延伸，甚至自動化領域(非電漿製程)也開始嘗試導入，用於夾持輕薄之物件，預估市場規模約為150億元台幣，且還在逐年成長中。
瑞耘表示，目前全球靜電吸盤智財權掌握在歐美日設備大廠(以日系為主)之靜電吸盤製造廠，瑞耘在多年前即投入開發計畫，與台大應力所合作，先期建立靜電吸盤維修/測試/電漿模擬等技術；目前已建立陶瓷噴塗、高分子塗佈及真空應焊技術等核心製造技術，並逐步行銷及推出產品及服務；此外，目前產品的主要營運策略為由替代性零組件供應商轉為OEM/ODM高階代工以爭取進入客戶之共同研發專案，除藉此越過智財權的競爭障礙外，並藉ODM模式逐步建立自己的智財權保護傘。
瑞耘已成功協助蝕刻機台客戶維修其靜電吸盤，並通過台積電(2330)認證，正式取得其全球維修合約；另在新品開發領域，則與多家設備客戶(於LED PSS、TSV Etch and CVD/PVD、半導體Etch、面板及自動化設備運用)簽署共同開發合約，並於今年正式與全球最大設備大廠共同開發下一世代的300mm 晶圓加熱器(亦屬靜電吸盤技術相關產品)。
瑞耘表示，在產品進度方面，2015年ESC維修合約、LED PSS及面板設備客戶皆已導入量產，其他計畫皆為Alpha及Beta機台應用，預估近二年靜電吸盤及加熱器將進入營收快速成長期，而除了半導體奈米製程與國際設備大廠共同開發外，同時也切入新興且快速成長的先進封裝及自動化應用領域，後續展望值得期待。
