台積南科再生水廠3月進入試產,落實綠色製造

2021/02/26 15:25

MoneyDJ新聞 2021-02-26 15:25:01 記者 新聞中心 報導

台積電(2330)南科再生水廠預計今(2021)年3月完成主體建築並進入試產,致力於產出優於進水品質要求的再生水,成為全球首家導入工業再生水的先進晶圓廠。

為落實綠色製造,並減少自來水用水量、強化用水效率,台積電自2015年投入再生水啟動技術發展,打造出全國首條半導體工業再生水試產線,回收處理工業放流水;2020年又投入南科再生水廠建廠工程,打造台灣第一座民營再生水廠,預計於2021年3月完成主體建築後,開始安裝系統、啟動試產並持續調校,致力產出優於進水品質要求的再生水。

另外,台積電也透過全物理壓濾的晶背研磨廢水再生技術,取代添加化學藥劑的混凝沉降法,處理半導體封裝製程大宗廢水晶背研磨廢水,節省化學藥劑用量,並且能將產製品由原本的無機性汙泥,轉化為有價的高純度工業級矽產品。

台積電表示,此技術2020年7月在先進封測3廠正式啟動後,截至2021年1月總計回收逾1.5萬公噸晶背研磨廢水,並產製30公噸德工業級矽產品,預計2022年擴大導入興建中的先進封測2廠第二期以及先進封測6廠,持續朝資源永續目標邁進。
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